真空渗氮也被称为真空排气式氮碳共渗，顾名思义，真空渗氮技术就是真空炉通过真空技术，清净和活化金属表面。在加热、保温、冷却的过程中，排出微量气体，输入具有活化功能的气体。通过真空渗氮技术可以增强真空炉的硬度和韧性。
    如果材料中的含铬量非常高，其硬度也会增加。单相ε化合物层的硬度随着材料的含铬量是这样变化的：当材料的含铬量是13%时，硬度是1200HV，当材料的含铬量达到18%时，硬度便达到1500HV。当材料的含铬量是25%时，硬度高达1700HV。高含铬量的单相ε化合物层的耐磨性非常的高，耐高温、耐低温、耐磨损。单相ε化合物层硬度大，韧性较差，所以在铸造初期，容易导致锻模发生龟裂，在焊接修补时真空炉易出现针孔。

    真空渗氮技术可以硬化钢质，真空渗氮和离子渗氮的原理是不同的，真空渗氮需要先将钢材放入真空炉中进行加热，加热完成后，冲入少量的气体。然后氮原子慢慢向钢材中渗透扩散，逐渐实现硬化。而离子渗氮是仅仅加热钢材的表面，然后活性氮离子仅仅渗透到钢材的表面，然后发生一系列的化学反应，使得钢材硬度增大。通过离子渗氮技术加工的钢材不如真空渗氮技术加工的钢材材质好，由于这种技术只需要加工钢材的表面，所以不需要真空炉来加热。
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