现有加热电源存在的问题：

    尽管我国晶体生长设备的自动化程度有了很大提高，但是在常规的直拉法温度控制环节的设计上还存在以下问题：

    (1)加热电源的智能化程度不高。纯模拟电路构成，单闭环控制，自动化程度偏低，功率的调节常滞后于系统对温度的实际要求。

    (2)温度需要手动调节。该设备在运行过程当中不能完全做到无人值守，对于引径、放肩及熔料过程的温度控制还需要工作人员通过电源柜的旋钮手动调节输出值，等径生长过程的实际控温精度与理论值也有差距，参数的设置、调节和记录均需要值守人员参与完成。

    单晶炉改进方案：

    装置采用模块化设计，微机控制，内置自适应能力较强的模糊PID控制算法，具有控制参数自动调节、显示，可通过按键设定初值，系统异?？勺远飧婢刃鹿δ?，即从整体上提高温控系统的智能化程度和控制精度，加快参数调节的响应速度，使整个生产过程中炉温的变化能快速平滑地跟随工艺曲线变化，装置通用性强，操作上更加简单、可靠。

    单晶炉主要技术指标：

    单晶炉加热电源是一种大功率直流电源，要求输出功率lOOkW，输出电压为0-5V可调，输出电流为0-3000A；其输出的能量可直接为单晶炉内的石墨加热器供热，加热温度范围为o～2000℃，控温精度要求达到±5℃；各种信号可自动检测、显示，参数的修改和设定可通过按键进行，以此来满足单晶硅在生长阶段对温度的严格要求。